砥石作業面からみる精密研削機構－超音波援用による作業性の改善－

摘要

自動車エンジン部品の鋳造や、マイクロフレネルレンズなど微細3次元構造を有するデバイスの 成形加工では、金型の長寿命化や高精度化が求め られている。これらの製作には、高い形状精度と ナノオーダの鏡面を創製する精密研削が用いられ、 その加工機構を明らかにすることは重要である。