机译:用于生物传感的电容微系统
Biomolecular interactions; Biosensors; Capacitive detection; Micro-electrodes; Micro-membranes;
机译:用于生物传感的电容微系统
机译:电容微电子和微系统工程元件用铁电在硅上形成多孔结构
机译:微型系统中的电容性功率传递分析和建模
机译:集成CMOS兼容电容式绝对压力传感微系统的设计和仿真
机译:用于化学和生物传感的表面应力和电容MEMS传感器阵列
机译:基于化学机械感应与光学检测和电容感应与电子检测的炸药蒸气痕量检测灵敏度比较
机译:微系统的批量压电转换及其在微电子批处理组件,电容感应和太阳能集中度中的应用