半導体簿膜材精製設備が完成

摘要

昭和電工は4日、半導体の薄膜の材料になる高純度亜酸化窒素について、韓国の化学メーカーである斗岩産業と共同で建設していた精製設備＝写真＝が完成したと発表した。3月から本格運転を開始する。今回の増強で、昭和電工の高純度亜酸化窒素の供給能力は従来比5割増の年1800トンになる。韓国などアジアで伸びる半導体製造装置用途での需要を取り込む。