新規アダマンタン誘導体三グレードを市場投入

摘要

出光興産は、これまで半導体製造用のフォトレジスト原料としてArF露光用（線幅九〇nm、六五nm向け）のグレードを提供してきたが、新たにArF液浸露光用原料（線幅四五nm世代以降向け）としてアダマンタン誘導体三グレードを六月一八日に市場投入した。