机译:从基于MEMS的设备测试的纳米级标本中学到的经验教训
Univ Illinois Mech Sci &
Engn Dept Urbana IL 61801 USA;
Univ Illinois Mech Sci &
Engn Dept Urbana IL 61801 USA;
MEMS; microelectromechanical systems; micromechanics; nanoscale mechanical testing; mechanical characterization; nanowires; thin films;
机译:从基于MEMS的设备测试的纳米级标本中学到的经验教训
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