世界最高感度のシリカモニタ

摘要

堀場アドバンスドテクノは半導体製造プロセスにおける超純水中のシリカ濃度を測定する，高感度シリカモニタ「SLIA-300」をこのほど開発，発売した。価格は714万円（税込み）。 新開発の測定部に光ファイバーの原理を応用し，世界最高の最小検出感度0.01μg/l（従来比10倍）の高感度測定を実現した。 さらに，従来比1/8の装置小型化と1/5の低ランニングコスト化を達成し，半導体製造の超純水プロセスを強力にサポートする。