東京エレクトロンバッチ式スプレー洗浄装置MERCURY~(TM＋)を販売開始

摘要

東京エレクトロン（TEL）は、バッチ式スプレー洗浄装置MERCURYTM＋の販売を開始すると発表した。MERCURYTM＋は75mから200mmのりエーハサイズに対応し、より低コストのバッチ式スプレー洗浄装置を求める業界のニーズに応えた製品0新たに搭載された制御システムは旧式化したコンポーネントを刷新し、新しいCPU、タッチスクリニンインタエフエース、空圧力ードラック、入出力インタ⊥フェース、モーター速度制御装置などを導入している。