大型バルク窒化アルミニウム単結晶の育成に成功

摘要

JFEミネラルは新しい結晶成長プロセスの開発により，高品質で結晶径30mm，結晶厚み15mm以上という大型のバルク窒化アルミニウム（AlN）単結晶を育成することに成功した。 電子デバイスに利用される半導体製造では，積層される薄膜の作製が重要なプロセスの一つ。