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机译:使用可旋转的双磁控系统在聚合物膜上滚到氧化硅层的卷沉积
Fraunhofer Inst Organ Elect Electron Beam &
Plasm Winterbergstr 28 D-01277 Dresden Germany;
Fraunhofer Inst Organ Elect Electron Beam &
Plasm Winterbergstr 28 D-01277 Dresden Germany;
VON ARDENNE GmbH Hahnweg 8 D-01328 Dresden Germany;
Silicon oxynitride; Roll-to-roll; Magnetron sputtering; Rotatable magnetrons;
机译:使用可旋转的双磁控系统在聚合物膜上滚到氧化硅层的卷沉积
机译:使用卷对卷反应磁控溅射系统沉积在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上的氧化硅膜的渗透阻挡性能
机译:在高密度等离子体化学气相沉积过程中,使用等离子体沉积的氮氧化硅膜抑制氢离子漂移进入下层
机译:使用可旋转的双磁控溅射系统卷对卷沉积渗透阻挡层
机译:有机金属系统的量子化学模拟:介电膜的原子层沉积和使用钛金属茂催化剂的乙烯/苯乙烯共聚。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:双磁控开放场溅射系统,用于横向沉积薄膜