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机译:纳米材料的非传统光刻
Chinese Acad Sci Inst Solid State Phys Beijing Peoples R China;
Tsinghua Univ Beijing Peoples R China;
Hokkaido Univ Sapporo Hokkaido Japan;
机译:纳米材料的非传统光刻
机译:通过软光刻对聚苯乙烯进行反润湿辅助图案化以创建用于纳米材料沉积的纳米沟槽
机译:非常规湿光刻法在可溶性多功能材料上进行纳米图案化
机译:使用电子束光刻技术在易碎微机械结构上对纳米材料进行图案化
机译:使用软光刻和非常规微图案制作功能器件。
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:高分辨率纳米透明机构:近期纯粹和经济高效的自上而下的光刻的最新进展,用于≈10nm尺寸纳米图:从边缘光刻到次级溅射光刻(ADV。Mater。35/2020)