JSR／imec、ベルギーのEUVフォトレジ設備を完成

摘要

JSRと、ナノエレクトロニクス技術研究の先端朗な研究機関であるベルギーのimecは、2015年末にべルギーに設立した合弁会社「EUV Resist Manufacturing ＆ Qualification Center（EUV RMQC）」（JSRグループ69．4％出資）のEUV（深紫外線）フォトレジスト設備を完成させた。同設備はimecの敷地内に整備したもので、クリーンルーム環境下で4台の量産タンクが設置されている。今後は専門スタッフにより運営され、EUVリソグラフィ材料の製造·品質管理サービスを提供する。