セントラル硝子、半導体ウエハ撥水乾燥薬液を開発～川崎で量産

摘要

セントラル硝子は、半導体ウェハ撥水乾燥薬液「パターンキーパー（PKシリーズ）」を開発し、それぞれの半導体パターン材料に最適な複数のグレードの量産化に至った。半導体の高密度化や高性能化とそれに伴う回路形成工程におけるパターンサイズの縮小や集積化の進展により材料の多様化や回路パターンの高アスペクト化によるウェハ洗浄後の乾燥工程における回路パターン倒壊が大きな問題となっている。同社はこの問題のソリューションとしてパターンキーパー（PKシリーズ）を世界に先駆け開発した。