EPMA による凝固組織の定量マッピング(S044_1)

摘要

鉄鋼開発において、組織、偏析、介在物等の制御は重要であり、それらを制御することにより、プロセス、製品開発を行なっている。サブミクロンから数十ミリオーダーの領域で定量測定が可能な電子線マイクロアナライザ（EPMA）は組織、偏析等の定量的評価に非常に有用な分析手法である。しかしながら、定量化には検量線作成に用いる標準試料や強度測定方法による精度低下の問題が存在する。そこで今回、EPMA による凝固組織の定量マッピング分析について検討したのでその結果を報告する。