机译:硫钝化锗上氧化铝原子层沉积中三甲基铝反应的机理
机译:硫钝化锗上氧化铝原子层沉积中三甲基铝反应的机理
机译:三甲基铝和水通过原子层沉积形成的氧化铝:残余应力,弹性模量,硬度和附着力的温度依赖性
机译:三甲基铝在氧化铝上原子层沉积对钌的底物反应性影响
机译:通过三甲基铝和氟化氢(PPT)的顺序反应,通过“转化蚀刻”机理的热原子层蚀刻。
机译:氧化物表面的化学性质:水和HCl在α氧化铝(0001)上的反应以及钨的原子层沉积。
机译:通过低温原子层沉积制备的用于封装有机电致发光器件的氧化铝薄膜的方法
机译:硫钝化锗上高κ电介质的原子层沉积