水晶の圧電効果を利用した力センサ：測定原理、特徴、および製造工程の監視·制御への適用について

摘要

本稿では、水晶の圧電効果を利用して力を測定するセンサの測定原理および特徴を解説する。加えて、その力センサから得られる情報に基づき、製造工程の監視および制御を行った例について紹介ずる。