投影型X線顕微鏡の最前線－分解能40nm投影型X線顕微鏡TUX-5000FSの開発

摘要

X線顕微鏡は、IC部品内部の非破壊検査や生物細胞内の微細な構造を生きたまま観察するなどの用途が期待されている。 X線顕微鏡で最も重要なのは高い分解能である。 当社では世界最高分解能40nmのX線顕微鏡を開発したので報告する。