テラヘルツ電磁波パルスによるリアルタイム2次元断層画像撮影技術非侵襲·非接触リモートな実時間断層画像撮影法の開発

摘要

本解説では、THzパルスを用いたリアルタイム2次元断層画像撮影技術及び塗装膜厚検査への応用を紹介した。 非接触リモート特性や非侵襲性を有する本手法は、従来法の制限を解消した新しい内部診断法として、移動物体の非破壊検査や生体診断を始めとした各種応用分野で有用であると考えられる。現状の測定フレームレートは毎秒10フレームであるが、本手法は原理的に単一ショット測定が可能なため、レーザー繰返周波数(1kHz)まで測定フレームレートを向上させることが可能である。 このような高速化が実現できれば、さらにTHzラインビームを高速に振らせることで面に対応した照射ができ、リアルタイムで3次元THz断層画像を取得することが可能となる。