Эффект загрузки при травлении ткани из монофиломентных нитей полиэтилентерефталата в плазме кислорода

摘要

Приводятся результаты исследований эффекта загрузки при воздействии низкотемпературной плазмы кислорода на поверхность ткани итальянского производства из монофиломентных нитей полиэтилентерефталата. В работе использованы гравиметрический и масс-спектральный методы (масс-спектрометр ИПДО-2А). При временах контакта плазмы с образцом, меньших характерных времен химических реакций, скорости гетерогенных процессов определяются временем контакта. Взаимное влияние гетерогенных и объемных процессов становится заметным лишь при временах контакта плазмы с образцом, превышающих характерные времена химических реакций. В результате с увеличением степени загрузки реактора снижаются удельные скорости травления, расходования кислорода из газовой фазы и образования газообразных продуктов деструкции материала, при этом соотношение каналов деструкции не меняется. В широкой области параметров разряда кислородная плазма оказывается более устойчивой к загрузочному эффекту, чем плазма воздуха.