К экономике криосорбционной откачки (опыт применения азотного криосорбционного насоса в составе заводского вакуумировочного стенда)

摘要

Преимущества криосорбционной откачки в сравнении с технологией вакуумирования, основанной на использовании механических и пароструйных насосов, известны: простота конструкции и высокая надежность (нет движущихся частей), практически неограниченный срок эксплуатации, "стерильность" вакуума, работа криосорбционного насоса без потребления электроэнергии и воды, экологичность, бесшумность, а также низкая энергоемкость процесса вакуумирования.