Исследование оптического щупа с частично когерентным источником излучения

摘要

В работе проведен анализ работы оптического щупа с частично когерентным источником излучения при исследовании поверхности сложной формы в триггерном режиме. Предложен способ минимизации влиянияспекл-модуляции интерференционного сигнала на результат измерений. На основе предложенного способаразработано устройство со сканированием опорного зеркала по периодическому закону. Определены соотношения между основными параметрами устройства, необходимые для достижения положительного эффекта.