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Algorithm of crystal profile control for automatic crystal growth by the Czochralski method

机译:直拉法自动生长晶体的晶体轮廓控制算法

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摘要

The new generation crystal growth systems should work in the automatic mode. To obtain high-quality crystals, accurate maintenance of the specified boule profile is required. In the systems using weight control, the programmed force is compared to the force acting upon the weight sensor. In this paper an algorithm for calculation of the programmed force is offered. It is based on the numerical solution of the Bardsley equation. This algorithm allows crystal profile setting both analytically and numerically.
机译:新一代晶体生长系统应以自动模式工作。为了获得高质量的晶体,需要精确维护指定的晶锭轮廓。在使用重量控制的系统中,将编程的力与作用在重量传感器上的力进行比较。在本文中,提供了一种用于计算编程力的算法。它基于Bardsley方程的数值解。该算法允许解析和数值设置晶体轮廓。

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