АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ СПЕКЛ-СТРУКТУРЫ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИНЫ ПРИ КОНТРОЛЕ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ

摘要

Исследованы статистические характеристики поля, рассеянного контролируемой шероховатой оптической поверхностью, и определены выражения для контраста спекл-структуры в зависимости от степени монохроматичности излучения лазера ИК интерферометра. Предложен способ частичного подавления спекл-структуры в регистрируемых изображениях, основанный на использовании пространственной фильтрации и операции усреднения по ансамблю сечений, проходящих через энергетический центр тяжести отфильтрованных изображений. Приведены результаты экспериментальных исследований макетного образца лазерного ИК интерферометра, построенного по модифицированной функциональной схеме Тваймана-Грина, с рабочей длиной волны излучения λ = 10,6 мкм и сформулированы рекомендации по выбору его элементной базы.