ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СХЕМЫ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА RR-ТИПА

摘要

В статье представлена модель емкостных датчиков микромеханического гироскопа RR-типа, выполненная в виде эквивалентной электрической схемы с межэлектродными и паразитными емкостями. Приведена методика расчета этих емкостей. На основе электрической цепи проведена оценка разрешающей способности микромеханического гироскопа, выполненного по технологии "кремний на изоляторе", определено влияние на резонансную частоту подвеса напряжения возбуждения емкостных датчиков.