При проектировании современных вакуумных средств откачки одной из проблем является обоснованный выбор конкретных видов вакуумных насосов для обеспечения требуемых параметров газа на стороне всасывания, например, диапазона давлений откачиваемого газа. В настоящее время широкое распространение получили турбомолекулярные вакуумные насосы, имеющие весомые преимущества перед другими средствами откачки. На основании созданных в МГТУ им. Н.Э. Баумана методов расчета проведены исследования по определению диапазона давлений газа на всасывании, в котором турбомолекулярные вакуумные насосы являются предпочтительными при обеспечении оптимальных характеристик. Даны рекомендации по выбору диапазона рабочих давлений турбомолекулярных вакуумных насосов, в котором они наиболее эффективны по сравнению с другими видами вакуумных средств откачки.
展开▼
