Приведены результаты исследования влияния параметров форвакуумного насоса на параметры откачки турбомолекулярного вакуумного насоса. На основании разработанной авторами программы расчета впервые получены данные о взаимном влиянии их откачных характеристик, позволяющие выбирать конкретные виды насосов при условии обеспечения оптимальных параметров всей откачной системы. Даны рекомендации по определению соотношения максимальных значений быстроты действия форвакуумного и турбомолекулярного вакуумных насосов.
展开▼
