Устойчивость системы управления деформацией пьезодвигателя наноперемещений

摘要

Получены передаточные функции для многослойных пьезодвигателей нано- и микроперемещений при продольном и поперечном пьезоэффектах. Определены условия абсолютной устойчивости систем управления их деформацией и выбраны корректирующие устройства для обеспечения устойчивости этих систем.