Свойства, применение и особенности получения на неструктурных покрытий методами физического осаждения вещества в вакууме

摘要

Рассмотрены основные технологические аспекты получения наноструктурных покрытий методами физического осаждения вещества в вакууме, представлены сведения об их разновидностях, способах управления их структурой и свойствами, а также предпочтительных областях применения в металлообработке. Представленные данные основаны на результатах научно-исследовательских работ, проведенных МГТУ "Станкин" совместно с Харьковским физико-техническим институтом; и анализе наиболее интересных публикаций, посвященных изучению свойств наноструктурных покрытий.