ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ ИСПАРЕНИЕ И ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ

摘要

Рассмотрены существующие и предложены новые технологические схемы электронно-лучевого испарения и последующей конденсации неорганических веществ. В частности, испарение и отражение парового потока с помощью рефлектора, а также введения в паровой поток основного компонента активных добавок, в том числе газов, для осуществления химических реакций на поверхности конденсации с целью формирования соответствующих микро- и наноструктур.