В России термин микросистемная техника стал использоваться в официальных документах после принятия в 1996 г. перечня критических технологий Федерального уровня. В приоритетные направления развития науки и техники на 2001 - 2010 гг. (раздел производственных технологий) в состав критических технологий Федерального уровня включена микросистемная техника.Современное состояние техники новых поколений и "критических" технологий в ряде наиболее развитых стран характеризуется динамичным развитием с начала 90-х гг. технологии микросистем (microsystems technology - MST), определившей создание нового научно-технического направления - микросистемной техники (microsystems engineering- MSE).
展开▼
