レンズ集積技術を用いた1.3μm帯面型レーザおよびフォトダイオードの高効率ファイバ結合

摘要

次世代光通信に求められる実装簡易性に優れた光素子の開発を目的として、光素子へのレンズ集積技術を検討した。集積レンズはInP基板をエッチングすることで作製した。作製したレンズの3次元形状を解析した結果、レーザビームのコリメートに理想的な非球面形状が得られていることを確認した。この技術を用いてレンズを集積した1.3μm波長帯の水平共振器面型レーザを試作した結果、円形狭窄ビーム（3.9°×3.5°）を得ることに成功し、シングルモードファイバとの高効率（-2.7dB）な直接光結合を確認した。また、レンズ集積フォトダイオードを試作した結果、受光感度の増大と光結合トレランスの拡大を確認した。