微小メサ構造を用いた面発光レーザの直接変調特性改善

摘要

高速直接変調可能な面発光レーザの実現を目指して微小メサ構造について検討した．面発光レーザのキャパシタンス低減のために酸化狭窄部分を形成するメサの微小化を行うと，電気抵抗，熱抵抗の上昇が懸念される．微小メサ構造のDBR反射鏡側面に電極·ヒートシンクを形成する構造により，電気抵抗，熱抵抗の上昇を抑え，良好な変調帯域を確保できることを，解析および実験で明らかにした．