三建設備のクリーンルーム技術 - 負荷連動FFU制御システム

摘要

半導体産業をはじめとする製造業では、地球温暖化対策としての省エネルギー推進が急務であり、各業界で炭酸ガス排出抑制など経団連環境自主行動目標の達成に向けて努力されている。 高品位な製品を安定して製造するために室内環境条件を一定に維持するクリーンルームは、エネルギー多消費設備であり、ユーティリティ設備を含めると工場全体消費エネルギーの半分近を占めている（図1）。 クリーンルームの省エネルギーのために、空調熱源系や空調搬送系に対して従来からさまざまな省エネルギー手法が用いられてきた。 当社では低コストで従来よりもさらに搬送動力を低減できるFFU方式クリーンルームシステムを開発したので以下に紹介する。