当社のMFC技術的変遷と今後の取り組み：次世代MFC (PTIMFC)によるトータルソリューションの提案

摘要

半導体製造プロセスの進化に伴い、ガス供給システムに要求されるスペックは年々厳しくなってきている。 一方でガス供給システムの心臓部とも言えるマスフローコントローラ（以下、MFC）は、30年もの歴史の中で徐々に進化はしているものの、基本技術の飛躍的な進歩はなくここまで進んできたのが現状である。 最近では、ソニックノズルと圧力センサーを組み合わせた流量コントロールシステムも登場してきたが、使用条件に制約があるなど特徴には一長一短があるようである。 弊社では長年の歴史の中で蓄積したMFC技術を基本に、今後あるべきガス供給システムの形を模索してきた。 その開発項目の一つとして、従来型MFCを更に発展させたPTIMFC (Pressure Transient Insensitive)の開発に成功した。