大気圧プラズマ式除害装置：画期的な水壁反応器を備えた除害装置KPL-Cシリーズ

摘要

近年デバイスの高密度化、微細化が進み、薄膜の多層化が進んできたため、デバイスの作成には従来以上に多くのプロセス装置が必要となり、このため除害装置も数多くデバイス工場に導入されるようになっている。今後、自動車の自動化、ロボットの普及等で、益々電子デバイスの需要の高まりが予測され、それに伴い、多くのプロセス装置と多くの除害装置が国内外で設置されると考えられる。