セラミックコーティング炭化ケイ素部材の開発：大気プラズマ溶射プロセスによる高密着性酸化物セラミックス被覆

摘要

実際にSiC焼結体に関しても、前述したようにさまざまな分野への適用拡大が進められることで、コーティング技術の重要性が認識され始めている。すなわち、電気·電子機器分野では表面電気絶縁特性の付与、高温機器分野ではさらなる耐酸化性の向上、加熱·焼成機器分野では腐食性物質に対する耐反応性の向上などの表面機能付与の需要が増している。