ウェーハ温度制御による高精度深孔エッチング

摘要

本稿では、フッ素系不活性液体を冷媒として使用した従来のウェーハ冷却技術に比べて、高効率冷却と高速温度制御が可能な直接膨張式（以下、直膨式）の冷却技術を検討した結果について述べる。また、試作した直膨式の冷却システムを用いてエッチングの進行に伴ってウェーハ温度を制御することで、ホール内のラジカル輸送制御を行い、エッチングの性能向上を検討した結果について紹介する。