半導体工場向け省エネルギー技術等の紹介

摘要

本稿では、既存半導体工場への導入に適している省エネルギー技術として、負荷変動に応じて熱源ポンプの搬送水量を制御する「フロースマート」、予測制御を駆使することでクリーンルームにおける室圧制御の最適化を図り、取入れ外気量を削減する「バリアスマート」、および廃棄物や資源を減らすことができる技術として、ダクトレス空調が実現できる「バーチャルダクト·クリーンルームシステム」の3つの技術を紹介する。