タスク＆アンビエントクリーン空調システム：生産装置から発生する高温排熱の効率的な処理方法

摘要

タスク＆アンビエントクリーン空調システムにおいて、生産装置から発生する高温排熱を効率的に処理できるシステム（幕方式）を開発した。本稿では、概要、温度分布特性、清浄度特性に関する実験データ及び省エネ性について紹介する。