ミニマルモデルルーム：クリーンルームレスの半導体製造環境

摘要

ミニマルファブの開発と共に、従来の半導体製造環境の概念も大きく変わろうとしている。その中で最もインパクトが大きいのが、クリーンルームが不要になることである。本稿では、昨年産業技術総合研究所内に構築して検証中の実証用モデルルームについて、その概要と今後の取組みについて述べる。