ホワイトナイト テフロンポンプ：半導体製造工程に貢献する新しいタイプのテフロンポンプ

摘要

半導体製造工程に使用されるポンプには、厳しい制約と過酷な条件下で高いパホーマンスを示す事が求められている。 ところが完璧に要求を満たサポンプは未だない、「不調になったら即新品に交換する」体制を整えることで、取りあえず無難に稼動させているのが実情と言われている。 ホワイトナイト社は高度な樹脂加工技術を駆使して、半導体製造工程で使えるポンプの開発を行った。 発売と同時に米国内で注目を集め、代表的な半導体メーカや洗浄装置メーカが評価テストを経て採用に踏切った。更に、世界最大手の半導体製造装置メーカも標準ユニットに認定し装置に内蔵しそ世界中に出荷している。