クリーンルーム中央監視設備の重要性：環境モニタリングとエネルギー管理

摘要

クリーンルームは建築設備でありながら、温湿度や清浄度などの室内環境を精密に制御·維持する生産上の重要な役割を担っている。併せて、先端技術を集約した生産装置を複雑な工程に集積し、自然災害·火災·機器故障や人的要因等によりひとたび損害を受ければ、その影響は生産停止による直接的な損失に加え、広範な産業構造に多大な影響を与える。クリーンルーム自体が生産装置の1要素として捉えられる。そのため、クリーンルームの中央監視には、ビル監視に加えプラント監視的な側面が要求される。半導体産業に代表されるように事業継続計画の観点からも、障害を未然に防ぐ、あるいは影響を出来るだけ小さぐするために、クリーンルームのモニタリングは重要である。また、クリーンルームは次のような特徴を持つことから，特有の機能や性能が必要とされる。当社では1980年代末頃からの実用的なパソコンの登場とPLCの普及、ネットワークなど汎用情報機器の急速な高性能化を背景として、これまでオープン指向の中央監視システムを実施してきた。その知見をもとに、クリーンルーム監視システムの現状について述べる。