特集：明日のプロセスガス制御技術への挑戦－《巻頭言》プロセスガス制細技術のパラダイムシフか

摘要

今日から遡ること僅か40年ほどの半導体製造産業は、多くの科学者による研究と実験に裏付けされたパラダイムを構築している。 歴史的にはダイオードに始まった半導体の研究から実用化に伴い、これまでのエレクトロニクス文化に大きな変化をもたらした。この変化は基幹技術から応用の範囲までに及び、社会のあり方まで変えるに至った。このような状況の変化をよくパラダイムの変革やパラダイムシフトという言葉で表現されている。 またその過程で行われる新しい活動をイノベーションやその手法をブレークスルーなどという言葉で使われている。 パラダイムという言葉について一般的な解釈では、「ある一時代の人々のものの見方·考え方を根本的に規定している概念的枠組み」とされている。 これは米国の科学史家T．Sクーン（1996没）によって科学研究を一定期間導くための規範となる業績を意味し、科学理論の歴史的発展を分析するために定義した概念という。