遠心分離機を使った部品洗浄－遠心分離機によるスライスウエハー洗浄液の処理システム

摘要

装置や部品の洗浄において、洗浄対象物を効率よく洗浄しその清浄度を上げることは重要である。洗浄液を可能な限りリサイクルすることは、廃棄物を減量化して環境負荷の低減にもつながる重要な課題である。 シリコンウエハーの製造工程において、シリコンインゴットをワイヤソーでスライシングした後のウエハーにはワイヤソーのスライス工程で使用されたスラリーと呼ばれる加工油が多量に付着している。 ウエハーの回路形成工程で行われる精密洗浄に対し、スライシングウエハーの洗浄は汚れ濃度が高く、高い清浄度を必要としない粗洗浄である。精密洗浄では汚れ濃度が低いこと、要求クリーン度が高いことから、洗浄液の再生には精密フィルタなどが使用されることが多い。粗洗浄工程では汚れ濃度が高いことからフィルタ法では、メディアへの負荷が大きく、頻繁なメディア交換を余儀なくされ、廃棄物の増加につながることがある。 粗洗浄工程の洗浄液中の固形物汚れは、フィルタ法より遠心分離法による除去と洗浄液の再生が適している場合が多い。