液晶製造工程における静電気対策：歩留り管理における静電気対策の重要性

摘要

液晶製造工程は、常に静電気との戦いであるといっても過言では無い。 基幹部材であるガラスは絶縁物である事から、基板処理は、常に静電気との戦いである。更に市場の要求から、薄膜トランジスター駆動方式LCD、いわゆるTFT-LCD （Thin Film Transistor Liquid Crystal Display=薄膜トランジスター液晶表示装置）がLCDの主流となっており、静電気対策は、半導体と比較して変わらない様になってきた。