液晶基板の洗浄技術：大気圧プラズマクリーニング

摘要

大型フラットディスプレイ、デジタルカメラ、携帯電話などデジタル家電に代表される液晶－プラズマディスプレイなどのFPD（フラットパネルディスプレオ）市場では、商品質·高画質化が要望されており、ファインピッチ化が進んでいる。 また表示部のファインピッチ化·小型化、ガラス面への実装·フイルム基板への回路搭載などの技席が応用されており、端子接合面の「接合信頼性」·「接合強度アップ」への要望が高まっている。