超純水中の過酸化水素の除去：モノリス型触媒樹脂による過酸化水素除去とその効果

摘要

超純水中に不純物として含まれる過酸化水素を除去するため、高効率かつクリーンなモノリス型触媒樹脂を開発した。過酸化水素を除去した洗浄水を用いることにより、銅薄膜の溶出が抑制されることを見出した。