スチッピングモータとボールねじを一体化：「SANMOTIONF」シリーズリニア駆動ステッピングモータ

摘要

ステッピングモータはオープンループ制御が可能なモータであり、エンコーダ不要のシンプルなシステムで簡便に制御ができる。その制御の簡便さから半導体製造装置、FPD製造装置などに数多く採用されている。また、多くのアプリサーションではステッピングモータとボールねじを顧客が組み合わせ、ステッピングモータの回転をリニア駆動に変換して使用している。これらの理由から、簡便な制御でリニア駆動するアクチュエータの潜在的な需要があると考え、ステッピングモータとボーソレねじを一体化した「SANMOTION F」シリーズリニア駆動ステッピングモータ（以下、開発品という）を開発した。本稿では開発品の構造と仕様を示すとともに、顧客装置への組み込みの観点に立った特長について紹介する。