ファシリティ部門から見た省エネルギー化への取り組み：ファシリティ建設部門を担う者からの提言

摘要

地球規模での省エネルギーが叫ばれている昨今、産業界における低エネルギーによる生産施設の構築が喫緊の課題である。半導体製造においても更なる省エネルギー化、省コスト化が叫ばれている。本稿ではファシリティ建設部門を担う者から、デバイス·装置·コンポーネントメーカーとのコミュニケーションの構築を提言する。