液晶用ガラス基板のイオナイザーによる静電気対策

摘要

近年、半導体や液晶製造の各工程において、静電気制御（静電気対策）は浮遊微粒子汚染制御と同様に重要な環境制御の一つとなっている。 特に、液晶製造においては、ガラス基板サイズの急速な大型化により静電気発生が促進され、静電気による微粒子汚染や静電気放電による回路素子の損傷等の静電気障害が、歩留まり低下を引起し、大きな問題になっており、静電気制御の重要性は大きい。半導体や液晶製造は、浮遊微粒子汚染防止の観点から清浄な褒造環境（クリーンルーム）で行われている。 そのため、液晶製造等のクリーンルームでは、清浄な製造環境を維持しつつ、静電気を除去する技術が求められている。 本稿では、まず弊社が開発した2方式のクリーンルーム用イオナイザ一について述べ、次にそのイオナイザ一による静電気対策の一例を紹介する。