特集：明日のプロセスガス制御技術への挑戦－当社の新製品とモのソリユーシヨン－新製品Aera Transformerシリーズ

摘要

弊社は、新型MFCとしてAera Trans formerシリーズ（写真1）を開発した。 以下にその概要を説明する。 ①弊社のModular Conceptに則った次世代MFCプラットフォーム。 ②300mmプロセスの要求事項に合わせて開発した。 ③弊社のハイエンドベストセラーモデルであるPrimAera及びFC－D980Cシリーズの高精度を維持し、新設計のバイパスにより更に高いリニアリテイーとCFによる誤差の低減を達成した。 ④流量制御バルブの"出流れ"を低減する事により、ガスのバースト問題の解消。 ⑤実ガスによる流量精度の検定済み。 ⑥オプションとして、マルチガス·マルチレンジに対応。